1. レーザー露光装置（ハイデルベルク製・μPG101-NWM）
   
2. SiO2スパッタ装置（神港精機・SRL2121）
   
3. レーザ顕微鏡（オリンパス・OLS3100）
   
4. 金属蒸着装置（小林理化器械）
   
5. 真空蒸着装置（アルバック・VPC-1100T）
   
6. 超純水装置（ザルトリウス・611DI）
   
7. 電子顕微鏡（エリオニクス・ERA-8900FE）
   
8. マグネトロンスパッタ装置（真空デバイス・MSP-20-TK）
   
9. 金属顕微鏡（オリンパス）
   
10. ＵＶオゾンクリーナ（Samco・UV-1)
    
11. マスクアライナー（カール ズース・MA6）
    
12. 酸用ドラフトチャンバー（ダルトン・E3-H)
    
13. 有機用ドラフトチャンバー（ダルトン・E3-H)
    

科学技術創成研究院未来産業技術研究所フォトニクス集積システム研究コアで，共有可能な備品を管理しており，学術的研究や教育に活用する場合に限り．その利用を提供しています．

本共用設備を利用する流れは以下の通りになります．研究機器予約システムの利用登録を希望する場合は、下記の手順でお申し込み下さい．

初めてご利用になる方は、以下の書類に入力し、secretary@ms.pi.titech.ac.jpまでメールにてお送り下さい。

• 利用登録書（word形式）
• 利用申請書（word形式）

設備の予約をされる場合は、予約申請書に入力し、secretary@ms.pi.titech.ac.jpまでメールにてお送り下さい。

• 予約申請書（word形式）

　

共用機器の利用料に関する申合せ等、「利用規約」をご確認ください。
制作中

学外機関で、利用希望の方は、下記までお問い合わせ下さい。

Email: secretary@ms.pi.titech.ac.jp
東京工業大学　科学技術創成研究院　フォトニクス集積システム研究コア共用設備担当

共用設備について、利用希望の場合は、下記までお問い合わせ下さい。

Email: secretary@ms.pi.titech.ac.jp
科学技術創成研究院　フォトニクス集積システム研究コア共用設備担当